特色系统

我们的目标是提供高顶级的服务，并且始终维持最高等级的完整性。提供定制化的产品是我们的特长，我们将跟客户紧密配合，以满足客户的全部需求。

• *** 任意双腔组合的真空系统***
• *** 不中断真空上下串接工序***
• *** 多种自动上下片方案可选***
• *** 太空仿真的器件测试系统***
• *** 离子束及反应离子束刻蚀***
• *** 支持任意形状规格的ALD***
• *** 支持光学级别的镀膜方案***
• *** 大尺寸基片的沉积和刻蚀***
• *** 飞行时间二次离子质谱仪***
• *** Parylene派瑞林镀膜设备***
• *** 高精度晶圆划片机Scriber***
• *** 晶圆厚度/TTV/Bow/Warp/Stress/接触角测量仪***