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ALD原子层沉积系统
超高品质保形性薄膜,强大的扩展能力,可扩展支持任意尺寸和任意形状的基片以及粉末。光学品质的表面粗糙度。
晶圆和掩模板清洗机
机械手自动上下片的带保护膜掩模版清洗机,配合专利技术实现无损兆声清洗,可在不损伤保护膜的情况下实现纳米级清洗。
单晶圆薄膜工艺系统领导
涵盖PVD沉积、CVD沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀等全面的薄膜工艺方案,强大的定制能力
我们的目标是提供高顶级的服务,并且始终维持最高等级的完整性。提供定制化的产品是我们的特长,我们将跟客户紧密配合,以满足客户的全部需求。
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