双腔光学元件镀膜系统

NANO-MASTER的NOC-4000光学涂覆系统在一个腔体中提供了最先进的光学元件原子级清洗和刻蚀，之后自动把样片传输到第二个腔体进行光学涂覆，这个过程无需中断真空。系统也可以独立使用任一个腔体，每一个带有自己自动的样片上下片功能。
 
另外，除了这两种系统的配置之外，任意两套NANO-MASTER的系统都可以实现类似的双腔传输应用，可以实现两个腔室的互相传送，实现不间断真空的前后工序。

• 特点
• 选配
• 应用